奈米深度3D形狀量測儀的應用

結合光學顯微鏡與白光干涉儀的功能,不需要複雜光路,即可實現精確掃描

可程式化程序,兼顧體積小,奈米解析度、易學易用等優點,

可提供垂直掃描高度達400mm之三維量測 (微米等級)

適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸量測。應用領域包含:

• 晶圓(Wafer)
• 光碟/硬碟 (DVD Disk / Hard Disk)
• 微機電元件(MEMS Components)
• 平面液晶顯示器(LCD)
• 高密度線路印刷電路板(HDIPCB)
• IC封裝(IC Package)

以及其它材料分析與元件微表面研究
 

高速精密的干涉解析軟體(lmgScan)

• 系統硬體搭配Imgcan前處理軟體自動解析白光干涉條紋。
• 垂直高度可達0.1nm
• 高速的分析演算法則,讓您不再苦候量測結果。
• 垂直掃描範圍的設定輕松又容易。
• 10X,20與50倍率的物鏡可供選擇。
• 平台XYZ位置數顯式顯示,使檢測標的尋找快速又便利。
• 具手動/自動光強度調整功能以取得最佳的干涉條紋對比。
• 具高精度的PVSI與高速的VSI掃描量測模式供選擇。
• 具專利的解析演算法則,可處理半透明物體的3D形貌。
• 具自動補點功能。
• 可自行設定掃描方向。

專業級的3D圖形處理與分析軟體軟體(PostTopo)

• 提供多功能,易操作的3D圖形處理與分析介面。
• 提供自動表面平整化處理功能。
• 提供高階標準片的軟體自校功能。
• 深度/高度分析功能,提供線型分析與區域析等兩種方式。
• 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度(roughness)與起伏度(waviness)的量測分析。
• 可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據。
• 區域分析方式提供圖形分析與統計分析。具有平滑化,銳化與數位濾波等多種二維快速傅利葉轉換(FFT)處理功能。
• 量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是以Excel文字檔案格式輸出。