AE-100
AE-100
奈米3D顯微形貌快速呈現
白光干涉顯微檢測儀的相移垂直掃描的專利技術與顯微光干涉技術，不需要複雜光路調整程序，即可在非接觸、無破壞、普通大氣環境下完成3D奈米深度的表面檢測分析，不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析，更可提供鏡面表面的奈米級粗糙度和台階高度分析， 並追溯至ISO國際規範。
SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀，具有極強的測量能力，可在幾秒內就完成整個視場的掃描，得到測量樣品的3D圖形與高度數據，檢測速度與深度量測能力優於逐點逐面掃描的 共焦掃描顯微鏡，3D圖形量測能力又優於掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力，且不需要使用電子束或雷射，開機快又安全，維護成本更低。
無論是拋光面，還是粗糙面，甚至是高透明材質(例如石英)，只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。 SWIM系列顯微檢測儀適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸檢測。
白光干涉顯微檢測儀的相移垂直掃描的專利技術與顯微光干涉技術，不需要複雜光路調整程序，即可在非接觸、無破壞、普通大氣環境下完成3D奈米深度的表面檢測分析，不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析，更可提供鏡面表面的奈米級粗糙度和台階高度分析， 並追溯至ISO國際規範。
SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀，具有極強的測量能力，可在幾秒內就完成整個視場的掃描，得到測量樣品的3D圖形與高度數據，檢測速度與深度量測能力優於逐點逐面掃描的 共焦掃描顯微鏡，3D圖形量測能力又優於掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力，且不需要使用電子束或雷射，開機快又安全，維護成本更低。
無論是拋光面，還是粗糙面，甚至是高透明材質(例如石英)，只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。 SWIM系列顯微檢測儀適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸檢測。
平台介紹
- 產品介紹
- 產品規格
相移垂直掃描專利技術，使深度解析度達0.1nm
SWIM系列顯微檢測儀提供Z軸掃描解析度0.1nm，平面空間分辨力0.5 um (50X物鏡)的量測能力，最高達12 um/s的垂直掃描速度，所具有的奈米3D顯微形貌快速呈現能力是科研、研發、生產品檢時所必備的工具。
AE-100M系列 (通用規格)
AE-100M系列
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型號 |
EA-100M |
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移動台行程 |
100X100 |
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物鏡放大倍率 |
10X |
20X |
50X |
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觀察與量測範圍(mm) |
0.43X0.32 |
0.21X0.16 |
0.088X0.066 |
|
光學解析度(um)mm |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
|
收光角度(Degrees) |
17 |
23 |
33 |
|
工作距離 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
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CCD解析度 |
640X480 |
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Z軸移動範圍 |
80mm，手動，粗調/微調 |
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Z軸位置顯示器 |
解析度1u |
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傾斜調整平台 |
雙軸/手動 |
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高度量測 |
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量測範圍 |
100um(400um選配) |
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量測解析度 |
0.1nm |
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重覆解析度 |
0.1% (量測高度：>10um) 10nm (量測高度：>1um~10um) 5nm (量測高度：<1um) |
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量測控制 |
AUTO |
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掃瞄速度(um/s) |
12(最高) |
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光源 |
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光源類型 |
儀器用鹵素(冷)光源 |
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平均使用壽命 |
1000小時(100w) 500小時(150w) |
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光強度調整 |
自動/手動 |
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電源與環境要求 |
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電源 |
AC110/220V，50/60HZ |
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環境震動要求 |
VC-C |
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量測與分析軟體 |
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量測軟體 |
Imgcan量測軟體 具 VSI / PVSI / PSI量測模式(PSI量測模式需另選配PSI模 組搭配) |
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分析軟體 |
PostTopo分析軟體： 1。ISO粗糙度/階高分析 2。外型/面積/體積分析 3。報表輸出 |
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